Венгриялық дәрігер және хирург Эндре Местер 1960 жылы лағыл лазер мен 1961 жылы гелий-неон (HeNe) лазері ойлап табылғаннан кейін бірнеше жылдан кейін пайда болған төмен қуатты лазерлердің биологиялық әсерін ашқан деп саналады.
Местер 1974 жылы Будапешттегі Земмельвейс медициналық университетінде Лазерлік зерттеу орталығын құрды және өмірінің соңына дейін сол жерде жұмыс істей берді. Балалары оның жұмысын жалғастырып, оны Америка Құрама Штаттарына импорттады.
1987 жылға қарай лазерлерді сататын компаниялар ауырсынуды емдей алатынын, спорттық жарақаттардың жазылуын тездете алатынын және тағы басқаларын мәлімдеді, бірақ сол кезде бұған дәлел аз болды.
Местер бастапқыда бұл тәсілді «лазерлік биостимуляция» деп атады, бірақ көп ұзамай ол «төмен деңгейлі лазерлік терапия» немесе «қызыл жарық терапиясы» деп аталды. Бұл тәсілді зерттейтіндер жарық шығаратын диодтарды бейімдегеннен кейін ол «төмен деңгейлі жарық терапиясы» деп аталды, ал «төмен деңгейдің» нақты мағынасы туралы шатасуларды шешу үшін «фотобиомодуляция» термині пайда болды.