Венгр дәрігері және хирургы Эндре Местер 1960 жылы лағыл лазерді ойлап тапқаннан кейін және 1961 жылы гелий-неон (HeNe) лазерін ойлап тапқаннан кейін бірнеше жыл өткен соң, төмен қуатты лазерлердің биологиялық әсерін ашты.
Местер 1974 жылы Будапешттегі Земмельвейс медициналық университетінде лазерлік зерттеу орталығын құрды және өмірінің соңына дейін осында жұмысын жалғастырды. Балалары оның жұмысын жалғастырып, Америка Құрама Штаттарына әкелді.
1987 жылға қарай лазерлерді сататын компаниялар ауырсынуды емдеуге, спорттық жарақаттарды емдеуді тездетуге және т.б. мүмкін екенін мәлімдеді, бірақ ол кезде бұл туралы дәлелдер аз болды.
Местер бұл әдісті бастапқыда «лазерлік биостимуляция» деп атады, бірақ ол көп ұзамай «төмен деңгейлі лазерлік терапия» немесе «қызыл жарық терапиясы» деп аталды. Осы тәсілді зерттейтіндер бейімделген жарық шығаратын диодтармен ол «төмен деңгейлі жарық терапиясы» ретінде белгілі болды және «төмен деңгей» дегеннің нақты мағынасына қатысты шатасуды жою үшін «фотобиомодуляция» термині пайда болды.